<語句説明>
1)スリットダイコーティング法:
ガラス基板に代表される長方形基板へのコーティングに適した塗布方法。長方形基板の長辺または短辺と等しい長さのスリットダイノズルを用い、基板上にノズルを接近させ、基板とノズルを平行移動させながら塗液を吐出しコーティングする方法。基板サイズは最大10m2程度まで対応可能。
2)スピンコーティング法:
シリコンウエハに代表される円形基板へのコーティングに適した塗布方法。基板中央に塗液を滴下し、基板を回転させながら基板全体へ塗り広げるコーティング方法。基板サイズは0.5m2以下が一般的。