リサーチフェロー/工務技監

富川 真佐夫博士(工学)

所属:電子情報材料研究所
専門分野:電子材料設計

研究に対する想い

学生時代にセルロースの感光化に関する研究をした頃に、東レの感光性ポリイミドの論文を読みました。また当時、ポリイミドやポリアミドを得るための新しい縮合反応に関する論文も多く目にしたために、漠然と将来は縮合高分子の研究がしたいと考えていました。幸い、入社後に配属されたのがポリイミドコーティング剤を研究・開発する部署で、特に入社後しばらくは自由に色々なことをやらせて貰えました。ポリイミドの研究に関して経験を積んだ後に、お客様に合わせた製品の開発を主に担当することになりましたが、そこでいろいろな経験を積んだことが後々、非常に役立ちました。製品化を進める中でトラブルがあると、基礎的な研究よりも深い多くの検討や分析ができ、より深く考えることになります。一見関係ないと思うようなことがトラブルの原因であったということも沢山ありました。そういったことから、特に企業で研究・開発をするに当たっては、色々なことに興味を持ち、自分の中に色々な技術の引き出しを作ることが重要であると考えています。百聞は一見に如かずであり、今でも、時間があれば実験をしていますし、特許も執筆しています。生涯、現役の研究者でありつづけたいと思っています。

主な論文

1992年 PHOTO-REACTION OF IONIC BONDING PHOTOSENSITIVE POLYIMIDE
Tomikawa M, Asano M, Ohbayashi G, Hiramoto H, Morishima Y, and Kamachi M; Journal Photopolymer Science & Technology, 5, 343 (1992)
1994年 Synthesis and photo-induced solution properties of new rigid-rod polyimides
TOMIKAWA M. (1) ; HARRIS F. W. (2) ; CHENG S. Z. D. (2) ; GALENTIER E. (3) ;Reactive Functional Polymer,30、101 (1994)
2007年 Effect of Photo-active Compound Structure on Photosensitivity of Positive Photosensitive Polyimide
Tomikawa M, Yuba, T., Ohbayashi, G., Kim J-H, Kim Y-H, and Kim T:
High Performance Polymers, 18, 603 (2007)
2007年 この「技術」が時代を変える 次世代半導体保護膜向け低温硬化型ポリイミドの開発
富川真佐夫、 JETI、 44, 30 (2007)
次世代半導体材料開発最前線 ポジ型感光性ポリイミドの開発と300mmプロセスへの対応
富川真佐夫、 クリーンテクノロジー、 17、 25 (2007)
2009年 Novel Partial Esterification Reaction in Poly(amic acid) and Its Application for Positive-Tone Photosensitive Polyimide Precursor
Tomikawa M, Yoshida S and Okamoto N; Polymer Journal 41, 604 (2009)
2011年 高性能電池と材料 ポリイミド系リチウムイオン二次電池負極用バインダー
富川真佐夫、ポリファイル 48, 19 (2011)
2011年 Novel high Refractice index positive-Tone Photosensitive Polyimide for microlens of image sensors
Tomikawa M, Suwa M, Niwa H, and Minamihashi K; High Performance Polymers. 23, 66 (2011)
2013年 ポリイミドのさらなる応用を探る -最新研究開発動向- 次世代半導体保護膜向け低温硬化材料の開発
富川真佐夫、機能材料 33, 21 (2013)

主な出版物

1992年 エレクトロニクス分野における添加剤・薬品便覧 -220選- 第1部 34 サイエンスフォーラムULSIプロセス材料 (1992) 第6章5節
2006年 半導体プロセス材料とケミカルス 第2編 第8章 7 シーエムシー出版(2006)
最新ポリイミドと応用技術 第10章 シーエムシー出版 (2006)
2010年 新訂 最新ポリイミド 第Ⅱ編第Ⅱ部 第3章 NTS (2010)
2014年 UV・EB硬化技術の最新応用展開 -3Dプリンターから住環境まで- 第31章 シーエムシー出版(2014)
リチウムイオン電池活物質の開発と電極材料開発 第4部 第2章 サイエンス&テクノロジー(2014)

社外受賞歴

1991年 高分子学会賞 技術
2010年 日本化学会 化学技術賞
2010年 近畿地方発明表彰
2015年 全国発明表彰

主な招待講演

2008年 第17回ポリマー材料フォーラム (2008)
2009年 第28回野依フォーラム (2009)
第17回日本ポリイミド芳香族系高分子会議 (2009)
2013年 JIEP最先端実装技術シンポジウム (2013)
第9回中日先端芳香族高分子会議 (2013)
日中化学技術交流協会 (2013)